중국 반도체 검사 장비 시장 동향

칩 합격률과 품질을 향상시키는 핵심 장비인 반도체 검사 장비
중국 대부분의 반도체 검사 장비는 수입에 의존


반도체 장비는 칩 제조 공정에 사용되는 장비다. 하나의 반도체 칩이 생산되기 위해선 칩 설계부터 칩 제조와 칩 패키징 테스트까지 세 단계를 거쳐야 한다. 반도체 장비는 칩 제조 공정에 따라 웨이퍼 제조 장비, 검사 장비, 패키징 장비 및 기타 장비의 네 부분으로 나누어 살펴볼 수 있다.

그중 반도체 검사 장비는 설계 검증부터 최종 테스트까지 모든 절차를 빠짐없이 밟아야 한다. 반도체 제조 공정이 매우 복잡하기 때문에 합격률을 높이고 원가를 절약하기 위해서는 반도체 검사 장비를 사용해 웨이퍼와 칩의 품질을 검사하고 불량품을 적시에 제거해야 한다. 주요 검사 단계는 설계 검증, 프로세스 공정 제어 검사, 웨이퍼 검사, 완제품 테스트를 포함하며 전체 반도체 제조 과정에서 칩 합격률과 품질을 향상시키는 핵심 장비다.

반도체 검사 장비는 활용 분야와 기능에 따라 반도체 전공정 검사 장비와 후공정 검사 장비로 나눌 수 있다. 그중 전공정 검사 장비는 주로 웨이퍼 제조 단계에 활용된다. 후공정 검사는 패키징 전 웨이퍼 검사와 패키징 후 완제품 테스트로 나뉜다.

<반도체 검사 장비 분류>

분류	활용 단계	검사 내용
전공정 검사 장비	웨이퍼 제조	(공정 모니터링) 제조 과정에서 제품 공정 테스트를 수행, 테스트 대상은 웨이퍼 표면의 결함, 사이즈 파라미터 등이 포함
후공정 검사 장비	칩 설계 검증	새로운 칩 설계를 묘사, 테스트, 검사해 규격 요구 사항을 충족하는지 보장
	웨이퍼 제조 (웨이퍼 검사)	전자기학 파라미터 검사 등을 통해 웨이퍼에 있는 모든 입자의 유효성을 테스트하고 이상 입자를 표시. 이를 통해 후속 패키징과 테스트 비용 줄일 수 있음
	패키징 (완제품 테스트)	칩 패키징 후 칩의 기능과 안정성 테스트

 

시장 동향

글로벌 반도체 검사 장비 시장은 지난 몇 년간 비교적 빠르게 발전해 왔다. 글로벌 반도체 검사 장비 시장 규모는 2016년 54억 달러에서 2022년 181억5000만 달러로 증가해 연간 복합 성장률(CAGR)은 22.4%에 달했다. 반도체를 필수로 하는 소비자 전자제품 시장의 수요가 잠시 주춤해 2023년 시장 규모는 171억5000만 달러로 일시 감소한 것으로 예상되지만, 여전히 2023년부터 2027년까지 연간 복합 성장률은 11.9%를 유지해 2027년에는 268억9000만 달러에 달할 것으로 전망된다.

<2016~2027년 글로벌 반도체 검사 장비 시장 규모>
(단위: US$ 억)

중국 반도체 검사 장비 시장 규모는 2016년 76억1000만 위안에서 2022년 385억6000만 위안으로 급성장해 연간 복합 성장률(CAGR)은 31.1%에 달했다. 2023년 다운스트림 분야의 소비자 전자제품 시장 부진과 반도체 업황 사이클로 2023년 중국 반도체 검사 장비 시장 규모는 379억6000만 위안까지 소폭 감소한 것으로 예상된다. 그러나 2023년부터 2027년까지 연간 복합 성장률은 15.4%로 증가해 2027년에는 673억2000만 위안에 달할 것으로 전망된다.

<2016~2027년 중국 반도체 검사 장비 시장 규모>
(단위: 억 위안)

수출입 동향

중국의 반도체 검사 장비는 주로 수입에 의존하고 있어 수입액이 수출액에 비해 현저히 높다. 2023년 중국 반도체 검사 장비 수출액은 1억3540만7000달러에 불과했지만, 수입액은 7억7770만8000달러로 수출액 대비 약 6배 높게 나타났다.

한편, 중국의 반도체 검사 장비 수출액은 2019년부터 2022년까지 지속 증가했으나, 2023년 수출액은 1억3540만7000달러로 전년 대비 11.2% 소폭 감소했다.

<2018~2023년 중국 반도체 검사 장비 수출입액 및 증감률 추이>
(단위: US$ 천, %)

중국의 반도체 검사 장비 주요 수입 국가/지역은 일본, 말레이시아, 대만 순이다. 중국의 2022년 대한 반도체 검사 장비 수입액은 전년 대비 60% 대폭 감소한 1863만1000달러였으나, 2023년에는 전년 대비 다시 55.4% 대폭 증가해 2896만1000달러로 집계됐다.

경쟁 동향

중국 로컬 반도체 검사 장비 제조업체의 전반적인 기술 수준은 제한적이며, 중국 반도체 검사 장비 시장의 국산화율은 여전히 저조한 수준이다.

중국 정부의 전폭적인 지원 아래 중국 로컬 반도체 검사 장비 업체는 연구개발에 대한 투자를 지속 확대해 나갈 것으로 보인다. 중국 반도체 검사 장비 시장의 전체 국산화율은 2016년 8%에서 2022년 12%로 증가했으며 2027년에는 15%로 더 증가할 것으로 전망된다. 중국 내 주요 반도체 검사 장비 업체로는 Wuhan Jingce Electronic Group(武汉精测电子集团股份有限公司), Skyverse Technology((深圳中科飞测科技股份有限公司), Ruili Scientific Instruments (Shanghai)(睿励科学仪器（上海）有限公司), Hangzhou Chang Chuan Technology(杭州长川科技股份有限公司), Beijing Huafeng Test & Control Technology(北京华峰测控技术股份有限公司), PowerTECH(佛山市联动科技股份有限公司) 등이 있다.

유통구조

중국의 반도체 검사 장비 유통 방식은 다양한데, 주로 자체 생산 판매를 병행하며(일부 대형 반도체 제조업체는 생산규모가 크고 검사 장비에 대한 요구수준(고정밀도, 기술 성능 등)이 높기에 검사 장비 제조업체와 직접 협력하고 있다. 첨단 반도체 검사 장비에 대해서도 반도체 제조업체는 직접 검사 장비 제조업체와 협업해 후속 서비스 지원), 대리상 판매, 온라인 플랫폼(爱采购, 仪器信息网 등) 기반 판매 등도 있다.
*주: 爱采购, 仪器信息网은 중국 내 반도체 검사 장비 제품을 판매하는 온라인 플랫폼

시사점

5G 보편화, 데이터 센터 확충 등에 따라 정보통신업계의 반도체 검사 장비 수요도 지속 증가하고 있다. 중국 로컬 반도체 검사 장비 제조업체의 혁신기술 개발과 중국 정부의 지원 정책도 해당 산업 발전을 촉진하고 있다.

아울러 에너지 절약 및 탄소배출 저감 정책이 추진됨에 따라 중국 신에너지 자동차 시장은 호황기를 맞이하며 판매량도 지속 증가하는바, 여기에 필수적으로 사용되는 반도체 검사 장비에 대한 수요도 빠르게 증가할 것으로 전망된다.



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